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245 GHz の マイクロ波の波長は約 12 cm です。 プラズマ源の多くは、放電電圧を高くするために共振構造としています。 共振構造では定在波が発生するので、波長の半分の周期、すなわち約 6 cm 間隔で電界のムラができます。(5) 線路1の電圧定在波比ρ は 2 3 1 3 1 3 1 1 3 1 1 3 1 1 3 1 1 1 1 K K U (6) 伝送線路上における 電圧定在波の波長λ は 01m 3 10 3 10 9 8 0 u u f c O (7) (6)より，電圧定在波の谷から谷までの距離p は 波長λ の半分なので， 01 005m 5cm 22 p
